资金来源

海外领军人才

采购厂家

济南显微科学仪器有限公司      

采购时间

2013年4月10日

主要技术参数

型号

BrukerDimension ICON      

XYZ  三轴闭环扫描器

XY方向90微米      

Z方向10微米      

要求可实现原子像测试要求      

Z方向噪声水平      

开环控制< 0.3 Å      

闭环控制< 0.35 Å（图象测试）      

<  0.5 Å （力测试）      

XY方向定位噪音水平      

开环控制< 0.1nm      

闭环控制< 0.15nm      

进针方式      

智能自动进针方式