本中心在微纳加工领域的研究主要集中在微纳切削、微纳磨削和微纳机械刻划三个方向。本中心购置了美国Moore Nanotech 350FG超高精度矿物材料（晶体）抛磨加工系统一套、基于扫描探针显微镜和3D激光扫描显微镜的微纳刻蚀加工系统一套、拟购置微纳米压痕、划擦实验系统一套以及配套分析软件。已具备了在机械式微纳加工领域进行系统深入研究的科研设备条件。