精密微细磨料水射流是一种对加工对象材料性能及加工要求适应性较强的、加工损伤较小的精密微细加工技术。在半导体材料、各种电子基板等的精密微细加工中具有独特的优势。本中心先后研究了精密磨料水射流加工硬脆材料时的冲蚀机理和脆塑转变机理，建立了单磨料粒子脆性断裂冲蚀和塑性剪切冲蚀时材料去除体积模型，研制成功了精密微细磨料水射流加工系统和精密磨料水射流蓄能式脉冲微量供料系统。